EDX-7000/8000能量色散X射線分析是利用衍射原理，準(zhǔn)確的測(cè)定物質(zhì)的晶體結(jié)構(gòu)，織構(gòu)及應(yīng)力，準(zhǔn)確的進(jìn)行物相分析，定性分析，定量分析。廣泛應(yīng)用于冶金，石油，化工，科研，航空航天，教學(xué)，材料生產(chǎn)等領(lǐng)域。

 

　　EDX-7000/8000能量色散X射線分析可以通過(guò)延長(zhǎng)測(cè)定時(shí)間增加X(jué)射線熒光的計(jì)數(shù)從而提高精度（重現(xiàn)性）。搭載高計(jì)數(shù)率SDD檢測(cè)器的EDX－7000／8000與以往型號(hào)相比，能夠在更短的時(shí)間內(nèi)保證分析精度。

 

　　能量色散X射線光譜（EDX）通常借助電子顯微鏡使用對(duì)樣品實(shí)施微區(qū)成分分析，依據(jù)元素特征X射線的波長(zhǎng)和強(qiáng)度，來(lái)檢測(cè)樣品中不同元素的相對(duì)含量和分布情況。EDX的探測(cè)效率高，操作簡(jiǎn)單，而且對(duì)樣品表面沒(méi)有特殊要求。

 

　　但EDX的分辨率較低，并且只能分析原子序數(shù)大于11的元素，同時(shí)常用的Si探頭要保持在低溫狀態(tài)下工作，操作上有所不便。EELS相比EDX對(duì)輕元素有更好的分辨效果，能量分辨率高出1～2個(gè)量級(jí)，空間分辨能力由于伴隨著透射電鏡技術(shù)，也可以達(dá)到10＾－10m的量級(jí)，同時(shí)可以用于測(cè)試薄膜厚度，有一定時(shí)間分辨力。

 

　　對(duì)于晶體材料，當(dāng)待測(cè)晶體與入射束呈不同角度時(shí)，那些滿足布拉格衍射的晶面就會(huì)被檢測(cè)出來(lái)，體現(xiàn)在XRD圖譜上就是具有不同的衍射強(qiáng)度的衍射峰。對(duì)于非晶體材料，由于其結(jié)構(gòu)不存在晶體結(jié)構(gòu)中原子排列的長(zhǎng)程有序，只是在幾個(gè)原子范圍內(nèi)存在著短程有序。故非晶體材料的XRD圖譜為一些漫散射饅頭峰。